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努美(北京)科技有限公司

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SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

參  考  價(jià):¥100000 - ¥1000000 /件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)

    SEM-Base VI

  • 品牌

    TMC

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

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更新時(shí)間:2024-12-10 17:36:37瀏覽次數(shù):870次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,道路/軌道/船舶,航空航天,公安/司法,綜合
SEM主動(dòng)隔振平臺(tái),SEM-Base®VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM-Base VI

SEM-Base®VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 


SEM-Base VI采用*特的“串行結(jié)構(gòu)",其中的振動(dòng)傳感器測(cè)量地面振動(dòng),而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同,這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器,在難以測(cè)量的亞Hz范圍內(nèi)具有*大靈敏度。結(jié)合我們*特的壓電致動(dòng)器技術(shù),SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)*高的消振水平。 

SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡(jiǎn)單易用的圖形界面,可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過(guò)以太網(wǎng)連接時(shí),DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,無(wú)需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外,用戶也可以通過(guò)板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器(LCD)與控制器連接。


注意:請(qǐng)參見SEM-Closure,這是一種專為保護(hù)SEM而設(shè)計(jì)的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個(gè)密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動(dòng)、磁場(chǎng)干擾和聲學(xué)噪聲的影響。


SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM-Base VI的優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容,可以從0.6 Hz開始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。 

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - *特的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90%的*越慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。

*全集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì) - SEM-Base VI設(shè)計(jì)與制造的集成化,將安裝平臺(tái)的工作簡(jiǎn)化到了致,簡(jiǎn)單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。

NOTE:可選SEM-Closure,專門設(shè)計(jì)用于保護(hù)SEM的完整環(huán)境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內(nèi)可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X,保護(hù)SEM免除振動(dòng)、磁場(chǎng)擾動(dòng)與聲波噪音的影響。


產(chǎn)品特點(diǎn)

STACIS*利技術(shù)

主動(dòng)慣性振動(dòng)清除系統(tǒng)

895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEM

負(fù)載能力:408-1134kg (900-2500 lb.)

隔振效率1Hz:40-70%

隔振效率經(jīng)2Hi:90%

隔振效率>3Hz:90-98%

6個(gè)主動(dòng)自由度

安裝容易,調(diào)試簡(jiǎn)單

兼容所有設(shè)備內(nèi)直的振動(dòng)隔離系統(tǒng)

電源:100-240VAC, 50/60Hz, <600W

是否需要空氣:非氣浮系統(tǒng)

CE與RoHS認(rèn)證

●*全集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)

可安裝腳輪,輕松便攜移動(dòng),無(wú)需搬運(yùn)

兼容SEM-lift系統(tǒng)


性能規(guī)格

主動(dòng)自由度

6

主動(dòng)帶寬

0.6 Hz - 100 Hz

被動(dòng)固有頻率

標(biāo)稱值為12 Hz

有效的主動(dòng)共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時(shí)的隔振

40% - 70%

2 Hz時(shí)的隔振

90%

≥3 Hz時(shí)的隔振

90 - 98%

內(nèi)部噪音

<0.1 nm RMSd>

工作負(fù)載范圍

標(biāo)準(zhǔn)承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁場(chǎng)發(fā)射4英寸(102毫米)處距離平臺(tái)

<0.02 μG broadband RMSd>

 

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全

符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

主動(dòng)隔振元件

*小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào),其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷

被動(dòng)隔振元件

單個(gè)硬彈性體(無(wú)需壓縮空氣源)

振動(dòng)傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于
測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng),并
提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓

主動(dòng)反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧
下方測(cè)量、處理和
支撐隔離面

尺寸(寬 x 深)

35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米

高度

標(biāo)稱6.3英寸(160毫米),
SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變

工作溫度

50° - 90° F
10° - 32° C

儲(chǔ)存溫度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

濕度

30 - 60%

系統(tǒng)電源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE標(biāo)準(zhǔn)

地面位移

<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

 

內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個(gè)通道

模擬輸入

16個(gè)通道

狀態(tài)燈

單個(gè)LED

前面板端口

1個(gè)串行USB 2.0
1個(gè)串行Micro-USB
1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45
2個(gè)BNC

用戶界面

前面板液晶顯示屏
超級(jí)終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI
嵌入式以太網(wǎng)GUI

 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

 

性能

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模擬振動(dòng)來(lái)測(cè)試1800磅(818千克)有效載荷

應(yīng)用說(shuō)明

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

應(yīng)用說(shuō)明

SEM成像

SEM-Base®在使用日立S-4800之前和之后的圖像

 

SEM成像

蔡司Auriga FIB-SEM在使用帶Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的圖像

 

案例分析

主動(dòng)壓電消振功能允許在惡劣的城市環(huán)境中使用先進(jìn)的電子束和離子束儀器

 

提高金剛石車削質(zhì)量

*大限度地減少表面粗糙度以消除金剛石車削智能設(shè)備相機(jī)鏡頭模具上的衍射顏色


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